超純水機是在純水機的基礎上添加了更多的處理裝置，生產出更高要求的超純水。自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，超純水機的水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，zui后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。超純水機的精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。zui終結果是加大了超純水機的使用成本。

　　超純水機使用注意事項：

　　新的濾芯是白色，如果時間長了表面會淤積泥沙等，呈現褐色，這就表示該濾芯不能用了，用自來水沖洗掉表面淤泥后，可以勉強繼續使用1-2周，但不能長期使用。濾芯放在濾瓶里面，有的濾瓶是透明的，超純水機可以直觀地觀察濾芯的顏色變化，有些濾瓶是不透明的，需要將其擰開后才能觀察濾芯的變化。從經驗數據統計來看，精密濾芯的壽命一般在3—6月，如原水的泥沙多，則其壽命短些，泥沙等顆粒物少，則壽命稍長一點。活性炭濾芯主要通過吸附作用，去除水中的異味、有機物等。自來水中有余氯，對反滲透膜有很大的氧化作用，所以必須經由活性炭去除。活性炭濾芯從表面上看沒有直觀的變化，根據經驗來看，超純水機一般在一年左右就達到飽和吸附，需要更換。超純水機的反滲透膜是超純水機中十分重要的部件，其孔徑非常小，所以在使用過程中常常有細菌等微觀物質淤積在其表面，一般各個廠家的純水機都有反沖洗功能，旨在洗掉污染物。